氧化鋁氮化鋁靜電陶瓷吸盤平整面度是該產(chǎn)品在生產(chǎn)加工和出貨檢驗(yàn)中，非常重要的一項(xiàng)指標(biāo)。因?yàn)檫@項(xiàng)參數(shù)是好壞，直接影響晶圓在蝕刻過程中產(chǎn)品不良率。在半導(dǎo)體加工中，對(duì)硅片的散熱工作相當(dāng)重要，如果無法保證硅片表面的均溫，則在硅片的加工過程中將無法確保加工的均勻性，加工精度也會(huì)受到影響。獲得大范圍的溫度域和充分的吸附力，靜電吸盤可通過自由度高的加熱器設(shè)計(jì)可以實(shí)現(xiàn)良好穩(wěn)定性；氮化鋁通過一體共燒成型，不會(huì)出現(xiàn)因電極的劣化造成歷時(shí)變化，最大限度的保障產(chǎn)品質(zhì)量；
方案選擇：激光影像測(cè)量儀（通過激光測(cè)量，可以得到平面內(nèi)高點(diǎn)和低點(diǎn)的高度差）
規(guī)格型號(hào) | TOCK-432C |
量測(cè)范圍（XYZ） | 400X300X200 |
外觀尺寸 | 700X900X1650 |
平臺(tái)、底座材質(zhì) | 高精度花崗巖00級(jí)（山東濟(jì)南青） |
XY 精度 | （3+L/200）μm |
光柵尺分辨率 | XYZ：1μm |
鏡頭 | 4K高清鏡頭 |
鏡頭倍率 | 光學(xué)放大倍率：0.7X-4.5X |
CCD影像 | 1/1.8靶面尺寸 200萬像素彩色CCD |
氧化鋁氮化鋁陶瓷吸盤平整面度測(cè)量操作步驟：
選擇點(diǎn)集功能，選擇激光采點(diǎn)；找到要求平面度的面，對(duì)焦清晰，在激光采點(diǎn)界面選擇圖像，之后根據(jù)需要在平面上采兩個(gè)點(diǎn)，在激光采點(diǎn)界面會(huì)同步顯示采取的兩點(diǎn)，選中兩點(diǎn)鼠標(biāo)右鍵選擇組合路徑；
.選擇組合路徑之后，兩點(diǎn)會(huì)連成直線，將測(cè)量方式設(shè)定為掃描，點(diǎn)數(shù)設(shè)置為-1；
設(shè)置好之后選中直線，鼠標(biāo)右鍵選擇平移，根據(jù)產(chǎn)品大小選擇平移的距離、數(shù)量、方向。點(diǎn)擊完成
等待采點(diǎn)完成之后，元素列表區(qū)會(huì)出現(xiàn)一個(gè)點(diǎn)集，左鍵雙擊點(diǎn)集，圖像區(qū)會(huì)顯示剛才采取到的點(diǎn)，通過框選選取這些點(diǎn)，然后構(gòu)造平面；
構(gòu)造平面完成之后，元素列表即會(huì)得到一個(gè)平面，選擇平面，數(shù)據(jù)列表區(qū)即可得到平面度，測(cè)量值即為實(shí)際值
以上操作需要注意：在氧化鋁氮化鋁靜電陶瓷吸盤的平面上選擇起點(diǎn)與終點(diǎn)，在兩點(diǎn)連成的線段內(nèi)通過激光掃描取點(diǎn)，可以通過平移復(fù)制的方法將這個(gè)路徑覆蓋平面大部分位置，這樣能夠在平面內(nèi)取到足夠多的點(diǎn)形成點(diǎn)集，減小平面度計(jì)算誤差。
武漢易測(cè)儀器激光影像測(cè)量儀：設(shè)備優(yōu)勢(shì)
三軸搖桿控制，自動(dòng)對(duì)焦，編輯程序后一鍵測(cè)量，完成后自動(dòng)輸出測(cè)量報(bào)告。NG位置用紅色顯示。支持?jǐn)?shù)據(jù)上傳MES，自動(dòng)化檢測(cè)站。可以選配探針完成簡易三維測(cè)量，選配激光完成高度，透明物體厚度，以及曲面輪廓測(cè)量。
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